Reaktyvusis magnetroninis purškimas yra brandus metodas, skirtas plonam mišinio sluoksniui nusodinti ant plataus spektro substratų kaip viršutinį arba tarpinį daugiasluoksnės dangos sluoksnį. „Plonos“apimtis svyruoja nuo kelių nanometrų iki kelių mikrometrų.
Kodėl magnetronas purškia?
Magnetronų dulkinimas yra kritusių dalelių ir taikinių susidūrimo procesas… Magnetroninis dulkinimas padidina plazmos tankį, įvesdamas magnetinį lauką tikslinio katodo paviršiuje ir panaudodamas apribojimus įkrautų dalelių magnetinis laukas, kad padidėtų purškimo greitis.
Ką reiškia reaktyvusis purškimas?
Reaktyvusis purškimas yra procesas, leidžiantis nusodinti junginius į plazmą įvedant reaktyviąsias dujas (paprastai deguonį arba azotą), kurias paprastai sudaro inertinės dujos, pvz. argonas (dažniausiai paplitęs), ksenonas arba kriptonas.
Kaip veikia magnetroninis dulkinimas?
Magnetroninis purškimas yra nusodinimo technologija, kurioje naudojama dujinė plazma, kuri generuojama ir apribojama erdvėje, kurioje yra nusodinama medžiaga – „taikiniu“. … Šie susidūrimai sukelia elektrostatinį atstūmimą, kuris „išmuša“elektronus iš dulkančių dujų atomų ir sukelia jonizaciją.
Kodėl RF skleidžiasi?
RF arba radijo dažnio purškimas yra metodas, naudojamas vakuuminėje aplinkoje radijo dažniais keičiant elektros srovės potencialą, kad būtų išvengta tam tikrų tipų purškiančių tikslinių medžiagų krūvio susidarymo, dėl kurio laikui bėgant į plazmą gali susidaryti lankas, kuris išsviedžia lašelius …
